3次元熱流体解析による高速空気静圧スピンドルの内部温度分布と軸端変位の基本的評価

抄録

超精密工作機械による微細形状創成では，スピンドルは高速回転領域で用いられる．一方，装置各部の発熱が加工精度に多大な影響を及ぼすため，有効な対策が必要である．そこで，高い熱的安定性を目的に，3種の異なる冷却構造を有する高速空気静圧スピンドルを開発した．本稿では，開発したスピンドルの熱的特性について，3次元解析手法による評価を行った．これより，スピンドル内部の各冷却構造による温度特性を明らかにした．