永久磁石相互の吸引力を用いた可撓支持微動テーブル（第1報）

磁気吸引力校正と変位予測

抄録

従前，電磁石と永久磁石を対向配置し，磁気吸引力で位置決めする可撓支持微動テーブルを提案してきた．摺動摩擦が排除される一方で電磁石の残留磁気や発熱が課題となる．本研究では永久磁石どうしの磁極間隔を変化させて磁気吸引力の調整を試みる．磁極間隔と吸引力の関係は理論的に予測し難い．そこで校正試験装置を製作し，両者の関係を調べた．また，校正試験結果より開発ずみの微動テーブルの出力変位を予測した．