MEMSファウンダリ事業と新規プロセス開発

抄録

ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング株式会社（SCK）では2004年よりMEMSファウンダリビジネスを実施しています。ファウンダリビジネスでは顧客ニーズをとらえたプロセスラインナップを揃えることが重要となりますが、SCKでは多くのパートナー様と新規プロセスを開発しています。今回その1例として東北大学様と共同開発し、封止圧1Pa以下を到達したウェーハレベル高真空封止技術の開発事例を紹介します。