高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶の内壁無歪み加工

松村 正太郎; 小笠原 伊織; 三宅 雅史; 大坂 泰斗; 山内 和人; 矢橋 牧名; 佐野 泰久

doi:10.11522/pscjspe.2023A.0_574

2023年度精密工学会秋季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023A.0_574

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会秋季大会

開催地: 福岡工業大学

開催日: 2023/09/13 - 2023/09/15

高圧プラズマエッチングによるマイクロチャネルカット結晶の内壁無歪み加工

*松村正太郎, 小笠原伊織, 三宅雅史, 大坂泰斗, 山内和人, 矢橋牧名, 佐野泰久

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キーワード: 硬X線自由電子レーザー, 大気圧プラズマ, ダメージフリーエッチング, X線結晶光学素子, チャネルカット結晶

会議録・要旨集認証あり

p. 574

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抄録

現代の優れたX線光源であるX線自由電子レーザーの高度化・高安定化手法として，反射型セルフシーディングという発振手法が検討されている．本手法の鍵は溝幅100μm以下の反射領域を持つマイクロチャネルカット結晶と呼ばれる素子であるが，その狭さから反射面に格子歪みの導入が避けられない．本発表では，雰囲気圧力を大気圧以上に高めプラズマ領域狭小化を試みた高圧プラズマエッチングによる加工手法の検討結果を報告する．

責任著者(Corresponding author)

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