単結晶圧電素子ベース形状可変ミラーを用いたアダプティブ結像型X線顕微鏡の開発

抄録

結像型X線顕微鏡の超高空間分解能5nmを達成するためには，1nm PV以上の形状精度を満たすX線ミラーが必要である．しかし，その精度は現代の加工技術では達成不可能である．この問題を解決するため，単結晶圧電素子であるニオブ酸リチウムを利用した形状可変ミラーに基づくアダプティブ結像型X線顕微鏡を開発している．本発表では，開発した補償光学系を構築し，SPring-8にて実証実験を行った結果について報告する．