脱イオン水および研削液中のウルトラファインバブルの安定性に超音波振動が与える影響

抄録

工具の超音波振動とウルトラファインバブルクーラント（UFBC）を援用することで，更なる研削特性の向上が望まれている．しかし，超音波振動する小径軸付き砥石のセンタースルーホールにUFBCが通過した際，UFBが加工点に十分に供給されるかは明らかではない．本研究では，電鋳工具内部を流れるUFBCに超音波振動を付与し，UFBの安定性を評価した．研削液として，脱イオン水および界面活性剤を含むタイプと含まないタイプの2種類を用いた．