磁気研磨法による微細複雑形状部品の超精密表面仕上げに関する研究

抄録

近年、半導体製造装置用部品の微細複雑形状部品の高精度な表面加工技術が切望されている。本研究では変動磁場を利用した磁気研磨法による微細複雑形状部品の表面仕上げの実現を目的としている。電磁コイルに交流電流を通電させ、電磁極先端に発生する変動磁場により、変動する磁気ブラシを形成し，工作物の表面仕上げを実現する。今回の実験では，6軸制御ロボットを利用し，アルミニウム平板の表面加工実験を行った。その結果について報告する。