XYθ精密自走機構搭載用圧電スティックスリップ型マニピュレータの開発

抄録

本論文ではXYθ精密自走機構に搭載する事を目的とした，圧電スティックスリップ型マニピュレータの開発について報告する．このマニピュレータは圧電スティックスリップを用いたZ軸変位機構及び，ピンセット開閉機構により構成される．また、動作検証としてこのマニピュレータを自走機構に搭載し，XYθ＋Z＋開閉の五軸動作による微小物のピックアンドプレースと積み重ねを試みた．