主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
長岡技科大 工学部 工学研究科 機械創造工学専攻
p. 354-355
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本研究室では結晶格子表面の格子間隔をスケール,走査型トンネル顕微鏡(STM)を検出器として組み合わせることでpmオーダーの分解能を有する測長システムの開発を進めてきた.これを結晶格子スケールと呼ぶ.本報ではSTM探針にディザ円変調を加えてグラファイト結晶表面を走査した際に得られるトンネル電流を用いた演算から,格子間隔以下の補間を行う手法の実験的検証を行い,また提案手法をレーザ干渉計非線形誤差検出へ応用する.
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