精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
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結晶格子スケールの格子間隔以下補間法の実験的検証と応用
*坂井 亮太飯尾 和司萩ノ谷 悠斗明田川 正人
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p. 354-355

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抄録

本研究室では結晶格子表面の格子間隔をスケール,走査型トンネル顕微鏡(STM)を検出器として組み合わせることでpmオーダーの分解能を有する測長システムの開発を進めてきた.これを結晶格子スケールと呼ぶ.本報ではSTM探針にディザ円変調を加えてグラファイト結晶表面を走査した際に得られるトンネル電流を用いた演算から,格子間隔以下の補間を行う手法の実験的検証を行い,また提案手法をレーザ干渉計非線形誤差検出へ応用する.

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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