大気圧プラズマジェットを用いた垂直深堀エッチング法の開発

中澤 謙太; 岩田 太

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_358

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_358

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

大気圧プラズマジェットを用いた垂直深堀エッチング法の開発

*中澤謙太, 岩田太

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キーワード: マイクロマシニング, 大気圧プラズマジェット

会議録・要旨集フリー

p. 358-359

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抄録

大気圧プラズマジェットを用いたアスペクト比が1を超える構造を製作可能な微細加工法を報告する．開口が10 µmのノズルを加工試料表面に位置決めし，局在化された大気圧プラズマジェットによってエッチングする．このサイクルを繰り返すことにより，試料底面はエッチングされるが側面は抑制されるため，深穴のアスペクト比を向上することができる．深さが465 µm，半値幅が145 µm，アスペクト比が3.2の深穴加工を実現した．

責任著者(Corresponding author)

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