WGM共振を利用した微小球の直径計測（第17報） SNOMプローブによる微小球表面の近接場光検出

劉 羽莘; 門屋 祥太郎; 道畑 正岐; 高橋 哲

doi:10.11522/pscjspe.2023S.0_362

2023年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023S.0_362

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2023年度精密工学会春季大会

開催地: 東京理科大学

開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16

WGM共振を利用した微小球の直径計測（第17報）

SNOMプローブによる微小球表面の近接場光検出

*劉羽莘, 門屋祥太郎, 道畑正岐, 高橋哲

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キーワード: 微小球, WGM共振, 角度モード番号, SNOMプローブ, テーパファイバ

会議録・要旨集フリー

p. 362-363

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抄録

微小球直径を高精度計測するためにWGM共振を利用した球直径計測法が提案されている．必要なパラメータである角度モード番号を測定するためにはSNOMプローブを走査し，微小球表面のWGM近接場光強度分布を測定することによる方法が提案されている．本報ではSNOMプローブを作成し，有効性を検証した上，微小球表面のWGM近接場光を検出できた．

責任著者(Corresponding author)

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