量子もつれ光子対を用いたゴーストイメージングによる超解像顕微鏡（第2報）

量子もつれ光子対の空間的相関性を用いた高解像度化による近接2欠陥の識別

抄録

半導体デバイスの製造過程においてウエハ上の微小欠陥位置を検出するために，高解像，高感度かつ高ロバストなイメージング法が求められている．本研究では，高感度かつ高ロバストな相関イメージング法である量子ゴーストイメージングを用いて超解像顕微鏡を構築する．本報告では，近接した2欠陥に対してイメージングを行い，従来の量子ゴーストイメージングで得られた画像と比較することで解像度が向上したことを示した．