干渉光学系による多孔質表面上のサブ100nm粒子計測に関する研究

第1報：検出法の提案

抄録

一般的な基板表面の検査手法である暗視野観察では、マイクロ孔表面に付着したナノ粒子の観察は困難である。これは、孔エッジからの散乱光が付近のナノ粒子を覆うこと、偏斜入射光が孔内部全体を照明できないことに起因する。本稿では、干渉光学系を構築し、マイクロ孔表面に付着した金ナノ粒子の観測を試みた。その結果、粒子が表面との間に生じる強度差と位相差により強調され、100 nmの粒径をもつ金ナノ粒子が観測された。