多光子励起を用いた深紫外3次元ナノリソグラフィ

抄録

深紫外光は短波長かつ物質の化学的変換作用を備え、ナノリソグラフィ等の微細加工の光源に広く使われている。本発表では、可視フェムト秒パルス光を用いて物質の深紫外吸収を二光子励起するナノ３次元重合加工法を紹介する。３次元造形の空間分解能、効率、材料展開について実験例を紹介する。また、深紫外１光子リソグラフィや、通常の近赤外光を使った二光子重合加工法と比較し、本手法の特徴を議論する。