スティッチング処理を用いたきさげ加工面の広範囲測定に関する研究

第4報　パターンマッチングによる測定箇所に精密位置合わせの検証

抄録

本研究では斜入射干渉計によるきさげ加工面の表面三次元形状測定に取り組んでいる．前報では，断面プロファイルにスティッチング処理を適用し，測定領域の拡大を試みた．しかしながら，ステージ軸とカメラ軸の不一致がスティッチングの形状誤差の原因となっていた．本研究ではパターンマッチングにより，表面形状をカメラの画素単位で位置合わせ可能であることを検証した．