精密工学会学術講演会講演論文集
2023年度精密工学会春季大会
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レーザ干渉計を目盛りとした長尺測長器の試作
*和合 健生内 智磯部 和夫
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p. 442-443

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抄録

作業現場でのトラッカー式座標測定器の校正で使用する長尺標準器の線膨張係数を測定するための長尺測長器を試作した。仕様は可搬式かつ測定長さ3000mmに対して公差±0.2mm、構成は目盛をレーザ干渉計、案内ガイドを摩擦滑り式として、キャリジの運動誤差低減を図った。その結果、長尺測長器の測定誤差を端度器での2点間測定で求めたところ、測定長さ2820mmの単一方向プロービングでσ0.030mmとなった。

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© 2023 公益社団法人 精密工学会
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