微細加工デバイスの分析計測分野への応用

抄録

微細加工技術を物理量センシング以外の分析化学に応用する取り組みは1990年代頃からMicroTAS等として活発に研究が進められている。一方、昨今の分析装置はカーボンニュートラル市場等に代表される新市場用途にオンサイト、可搬、ディスポーザル等が求められており、より一層の小型化や高精度分析技術が必要となっている。これまで微細加工技術を用いて製作したデバイスを分析計測用途に応用展開した事例を紹介する。