主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2023年度精密工学会春季大会
開催地: 東京理科大学
開催日: 2023/03/14 - 2023/03/16
秋田県立大 システム科学技術研究科 総合システム工学専攻
秋田県産技セ
p. 74-75
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イオンビームアシスト蒸着(IBAD)法は,成膜中のイオン照射(イオンミキシング)により,蒸着原子と基板原子の混合層(ミキシング層)を形成する特徴があり,これにより密着性の高い薄膜を得られる方法として知られている.本研究では,IBAD法により超硬基板上にTiN薄膜を成膜し,イオンミキシングが薄膜の機械的特性と基板との密着性に及ぼす影響を明らかにした.
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