SS-OCT方式ディジタル光センサを用いた加工機機上測定の一検討

抄録

ワーク検査時間の短縮や段取り替え時間の短縮を目的として、加工機上で測定を行う機上測定システムへの要望が高まっている。本稿では、光源に波長掃引光源を適用して試作したSS-OCT方式ディジタル光センサと数値制御装置とを連携させた機上測定システムについて述べる。本機上測定システムで金型を模擬して加工したワークを測定し、形状誤差を解析した結果について報告する。