主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会秋季大会
開催地: 岡山大学
開催日: 2024/09/04 - 2024/09/06
p. 155-156
走査型トンネル顕微鏡(STM)とHOPG結晶を用いることで、ピコメートルオーダの変位補間法を開発している。先行研究では、STMとHOPGを用いて12 pmまでの補間が達成された。さらなる改良のためには、STMで得られるトンネル電流値のノイズを低減する必要がある。本研究では、ロックインアンプを用いこのノイズの低減を可能とする新たな補間法を提案する。