酸素イオンシャワーエッチングによる反射防止構造の作製

抄録

本研究では酸素ビームイオンプラズマを照射し，感光性ポリイミド表面に対してエッチングを行いモスアイ構造の作製した．また感光性ポリイミドはフォトリソグラフィを用いたマイクロパターニングが可能であり，本研究はナノとマイクロのハイブリット構造の獲得への足掛けとなると考えている．作製したモスアイはSEMを用いた形状を行い，また分光光度計で反射率測定を行ったところ可視光領域にておおよそ0.5％を下回る結果となった．