超音波振動子と対向面を用いたポンプの開発

抄録

ランジュバン型振動子に内部配管を有したホーンを結合し，ホーン先端の振動面に幾何形状を備えた面を対向させて与圧を与えた状態で超音波振動を励起すると，周囲と内部配管の間で気体を移送できるポンプ効果が発現することを見いだしている．28kHzランジュバン型振動子によるプロトタイプの製作とそのポンプ性能，高周波化やたわみ振動の利用によるポンプ構成の小型化について紹介する．