リチウムイオン電池用Si負極の形成に向けた大気圧PECVD法の研究

抄録

我々は超高周波大気圧PECVD法を用いた高機能なSiの高速成膜法を研究している。リチウムイオン電池の負極材料は黒鉛が一般的だが、10倍以上の理論容量をもつSiが注目されている。そこで、微結晶層とアモルファス層の二層構造を持つSi厚膜を成膜し、高い安定性と電気容量を兼ね備えた負極材料の作成を検討している。本研究では膜厚5μm以上の微結晶Si厚膜の形成を目指し、投入電力と水素流量が膜厚・結晶化度に与える影響を調査した。