微細パターン創成を目的にした工作機械用スピンドルの微小変位制御システムの開発

抄録

材料表面に微細構造を有する製品のニーズが高まっている．そのため，超精密切削加工において，加工時間短縮や高精度化の要求が高まっている．本研究では，ピエゾ素子を用いて，微細パターン創成を実現する微小位置決めシステムの開発を行い，性能評価を行った．具体的には，電圧に対する変位応答性を評価するための静特性実験と動特性実験に加え，フィードバック制御による目標変位に対する定常誤差の評価を行った．