主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 329-330
多波長エバネッセント光学系を用いて、表面近傍におけるナノ粒子の浅深位置を計測することは可能であるが、これまでの光学系ではダイクロイックミラーなどを用いて2波長に限定した観測を行っていた。3波長など分光波長に限定されない光学系を実現するためにPellin-Broca Prismによる多波長エバネッセント光の分光手法を提案した。構築した光学系の試作では、可視光領域で0.25 nm/pixel程度の分光性能が得られた。