主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 343-344
近年,弾性表面波デバイスとして圧電単結晶基板表面にすだれ状電極(IDT)を形成したものが主流となっており,電子部品やセンサとして広く応用されている.しかしながら,圧電単結晶は電気機械結合係数が低い等の理由から,アクチュエータや霧化装置等へのハイパワー応用については必ずしも最適なデバイスではない.本研究では楕円反射面によるSV波集束機構を提案し,試作機において周波数1 MHz,振幅15.5nmのRayleigh波の励振に成功した.