楕円反射面型横波集束機構による高出力Rayleigh波の励振

抄録

近年，弾性表面波デバイスとして圧電単結晶基板表面にすだれ状電極（IDT）を形成したものが主流となっており，電子部品やセンサとして広く応用されている．しかしながら，圧電単結晶は電気機械結合係数が低い等の理由から，アクチュエータや霧化装置等へのハイパワー応用については必ずしも最適なデバイスではない．本研究では楕円反射面によるSV波集束機構を提案し，試作機において周波数1 MHz，振幅15.5nmのRayleigh波の励振に成功した．