精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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楕円反射面型横波集束機構による高出力Rayleigh波の励振
*山田 恭平家入 匠生伊藤 伸介笠島 崇森田 剛
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p. 343-344

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抄録

近年,弾性表面波デバイスとして圧電単結晶基板表面にすだれ状電極(IDT)を形成したものが主流となっており,電子部品やセンサとして広く応用されている.しかしながら,圧電単結晶は電気機械結合係数が低い等の理由から,アクチュエータや霧化装置等へのハイパワー応用については必ずしも最適なデバイスではない.本研究では楕円反射面によるSV波集束機構を提案し,試作機において周波数1 MHz,振幅15.5nmのRayleigh波の励振に成功した.

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© 2024 公益社団法人 精密工学会
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