圧電素子の鉛直振動を用いたフレーム一体型浮上機構

抄録

圧電素子の鉛直振動によるスクイーズ膜を用いた浮上機構を開発してきた。この浮上機構は圧電素子と慣性体、圧電素子とプレートを接着剤を用いて接合しており、浮上特性に個体差があった。そのため、浮上機構の浮上特性の再現性や耐久性に問題があった。そこで、本論文では、圧電素子のフレームと慣性体、プレートを一体化した浮上機構を製作し、その浮上特性について述べる。