積層型圧電素子を用いた浮上機構の印加電圧による浮上量制御

抄録

本研究では積層型圧電素子を用いた浮上アクチュエータの実現を目的としている。これまでに印加する電圧値によって浮上機構の浮上量が変化することを明らかにした。しかし、任意の浮上量を得るための制御システムが確立されていない。本稿では、浮上量をレーザ変位計によって測定し、目標値との比較を行う。比較結果から目標値に応じた電圧値を制御回路から浮上機構に印加することで、浮上量制御を目指す。