微小流量制御が可能な微粒子励振型制御弁の開発

たわみ振動を利用した駆動原理の有効性評価

抄録

本研究では，小型で微小流量の連続的な制御が可能な微粒子励振型流量制御弁の開発を行っている．過去の研究では制御弁の簡易化を目指し，単純な振動モードを利用した駆動原理を提案しその特性を評価した．本報では単純なたわみ振動による駆動を目指して，有限要素法を用いて制御弁の改良設計を行い，振動特性が異なる複数のモデルを製作した．このモデルの振動特性を評価し，微小流量制御への応用性について調査した．