極低温環境下アクチュエータ駆動用圧電振動子の構成材料の検討

抄録

低温流体の流体制御等への応用を目的としたマイクロアクチュエータの駆動源として、小型の予圧印加機構を持つ圧電振動子に関する研究を行っている。低温環境において生じる熱応力を効果的に利用することを目的として、熱膨張が小さい金属材料に着目し、圧電材料に印加される圧力の増大を図った。シミュレーションに基づいた試作を行い、評価実験により従来の構成によるものに対する優位性を示した。