ナノ秒パルスレーザを用いた単結晶ダイヤモンドの高品位微細形状創成

プロセス堆積物を考慮した形状加工についての検討

抄録

単結晶ダイヤモンドに対して，矩形トップハットモードのナノ秒パルスレーザと酸洗浄を組み合わせることで，加工溝底面に粗さを低減した平坦面が得られる．しかし，加工後に加工溝周辺へ堆積するグラファイトが継続プロセスに影響を及ぼす課題がある．本報告では，3種類のアシストガス（Air, Ar, O₂）を用いて堆積するグラファイトの低減について検討を行うとともに，形状加工に及ぼす影響についても議論した．