X線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度内面加工システムの開発

2024年度精密工学会春季大会

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

X線望遠鏡用ウォルターミラーの高精度内面加工システムの開発

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会議録・要旨集フリー

p. 430-431

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抄録

観測ロケット実験FOXSI-4に搭載されるウォルターミラーの形状精度を向上させるために，Si成膜と除去加工を組み合わせた形状修正加工法の開発を行っている．本発表では，数値制御加工を行い，開発したSi層除去加工システムの空間分解能を評価する．