乾式電解研磨技術の高精度研磨への応用

抄録

新技術として開発された乾式電解研磨の性能、特長を調査し、既存技術に対する優位性を検討した。様々な金属材料を用いて研磨後の表面マイクロラフネスを周波数解析した結果、乾式電解研磨は短波長成分の除去性能が高いこと、研磨前後の形状変化が少ないことを明らかにし、高精度研磨が必要となる金属部品に対して優位性が高いことを見出した。