触媒表面基準エッチング法を用いた粒界段差フリーなYAGセラミクス表面の創生

抄録

近年，次世代の固体レーザー媒質としてYAGセラミクスが注目を浴びている．しかし既存の研磨法で仕上げられた表面には，高強度のレーザーによって表面が破壊される原因となるスクラッチや粒界段差が現れる．そこで我々は砥粒レスかつ選択的な材料除去が可能な平坦化手法である触媒表面基準エッチング法の適用を提案する．本発表ではYAGセラミクスに対してCARE法を適用した際の加工特性について報告する．