精密工学会学術講演会講演論文集
2024年度精密工学会春季大会
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微細構造基板を利用した超解像イメージングに関する研究(第9報)
微小液滴塗布によるナノ粒子自己組織構造の選択的成膜
*出島 秀一管 一兆増井 周造門屋 祥太郎道畑 正岐高橋 哲
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p. 744

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抄録

形状測定技術の高精度化のため、従来の光学回折限界を超える分解能を実現できる超高解像構造化照明顕微法を開発してきている。この技術で用いる高空間周波数照明にナノ粒子の自己組織化膜の適用を検討してきた。本報告では、成膜時間の短縮と選択的成膜を実現するため、微小量の液体を塗布するニードル転写方式を新たに検討した。素材や塗布の条件を最適化することで選択的な成膜を実現したことを報告する。

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