主催: 公益社団法人精密工学会
会議名: 2024年度精密工学会春季大会
開催地: 東京大学
開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14
p. 744
形状測定技術の高精度化のため、従来の光学回折限界を超える分解能を実現できる超高解像構造化照明顕微法を開発してきている。この技術で用いる高空間周波数照明にナノ粒子の自己組織化膜の適用を検討してきた。本報告では、成膜時間の短縮と選択的成膜を実現するため、微小量の液体を塗布するニードル転写方式を新たに検討した。素材や塗布の条件を最適化することで選択的な成膜を実現したことを報告する。