ウォータガイドレーザ加工による機能表面の創製に関する研究（第5報）

ワーク材質による加工特性の評価

抄録

ウォータガイドレーザ加工（WGL）では，高圧水による直径数十µmのウォータジェットを導波路としてレーザが伝搬しワークに到達する．加工表面に特徴的な微細構造を成す点に着目し，本研究では，WGLの微細構造制御による新たな機能表面創製法の確立を目指す．本報では，種々のワーク材質に対して1スポット加工を行うことで，ウォータガイドレーザの基本的な加工特性とワークの性質特有の加工特性を整理した．