Au薄膜のトランスファプリントによるナノ振動子の作製と評価

亀岡 龍一; 春日 祐人; 堅田 康太郎; 河野 貴裕; 金子 新

doi:10.11522/pscjspe.2024S.0_752

2024年度精密工学会春季大会

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2024S.0_752

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

会議名: 2024年度精密工学会春季大会

開催地: 東京大学

開催日: 2024/03/12 - 2024/03/14

Au薄膜のトランスファプリントによるナノ振動子の作製と評価

*亀岡龍一, 春日祐人, 堅田康太郎, 河野貴裕, 金子新

著者情報

キーワード: トランスファプリント, Au, スパッタ成膜, ナノ振動子, 静電駆動

会議録・要旨集フリー

p. 752-753

詳細

抄録

微細加工基板へAu薄膜をトランスファプリント（TP）し，厚さ100nm程度のナノ振動子を作製した．Auのスパッタ成膜法によって，スタンプ凸部への付き回り性や熱の影響が異なるため，基板-ターゲット間の広いECRスパッタが適切であることを確認した．作製したナノ振動子を静電駆動し，長手方向の変位を測定したところ，中心から非対称なたわみ（変形）が確認された．

責任著者(Corresponding author)

会議情報

J-STAGEへの登録はこちら（無料）