光周波数コムによる工作機械の幾何誤差のインプロセス同定手法の開発

抄録

精密加工の需要増大に伴い，工作機械の幾何誤差を効率的に測定・補正する技術の必要性が高まっている．一方で従来の測定手法は，アライメント調整やマーカー設置の煩雑さが課題であるといえる．本研究では，光周波数コムに基づく3次元形状測定機を使用したインプロセスで実施可能な幾何モデル同定手法を提案した．これにより並進誤差を2.4μm，姿勢誤差を0.0032°の不確かさで測定し，3軸マシニングセンタの幾何モデルを構築した．