微細複雑形状部品の超精密磁気研磨法に関する研究

抄録

近年，半導体製造装置用部品など様々な分野で精密部品の微細化へ需要が拡大しており，工作物表面をナノレベルかつ高効率に仕上げる精密加工技術が求められている．しかし，従来の研磨技術では微細複雑形状の研磨が困難である．そこで，本研究では変動磁場を利用した磁気研磨法による微細複雑表面の精密加工に着目した．本実験では，アルミニウム合金板に研磨実験を行い，磁極の形状や送り運動による加工特性に及ぼす影響を調べた．