磁気研磨法による微細複雑形状部品の表面仕上げ技術の開発

抄録

従来の磁気ブラシを利用した平面磁気研磨法によって，超精密表面創生の際に生ずる微小磁性砥粒の凝集などの問題点を解決するため，変動磁場を利用した新しい磁気研磨法を提案している．本研究は変動磁場中の微細磁性粒子の活発な動きを研磨材砥粒と連動させ，分散しながら安定的にかつ均一に超精密加工ができる手法である．今回は変動磁場を発生させる電磁コイルを工作物の上下方向に設置し，磁気ブラシの挙動観察及び加工特性の詳細について検討した．