ポンプ・プローブイメージングを用いたフォトニックナノジェット加工における衝撃波計測

抄録

レーザ微細加工技術として，誘電体マイクロ球にレーザを入射することで発生する，小さいビーム径と長い焦点深度を特徴とするフォトニックナノジェットを用いたアブレーション加工を提案している．本報告では，アブレーション加工のメカニズムを解明するために，ポンプ・プローブイメージングによる衝撃波の直接観察と，マイクロ球をプローブとした変位計測を行い，衝撃波がマイクロ球に及ぼす力学的な影響を実験的に明らかにした．