局所磁場制御による基板表面上の浮遊ナノ粒子に寄与する微小力計測に関する研究

第三報　複数コイルを用いた磁力増強の検証

抄録

ポリシングなどの工程ではナノ砥粒と基板表面間に極微小作用力が働く。それらの作用力を把握できれば、高精度加工のための条件定義が効率的になる。本稿では、表面により接近した場合の作用力計測のために磁力の向上を複数ツイストコイルで実現し、同印加電流条件の単一コイルと比較した。粒子が増強された引力によって基板表面にさらに接近したので、超接近したナノ砥粒の場合の作用力計測が可能になることが示唆された。