ソフトマター表面上におけるエバネッセント光場内での工具先端位置の測定精度評価

抄録

これまで、固形材質表面(基準面)でエバネッセント光によるマイクロ工具先端の接近距離の計測法を確立してきた。しかし、工具を接近させる際に固形材質の硬さから双方が破損する恐れがある。そこで、本稿では柔軟性のあるソフトマター表面に局在するエバネッセント光の実用性を検討するため、光場内でピエゾ素子を用いて高さ制御した工具先端とシリコーン表面間距離の測定精度を評価したので報告する。