イオンビームアシストによる成膜プロセス

溶接学会誌

Online ISSN : 1883-7204
Print ISSN : 0021-4787
ISSN-L : 0021-4787

イオンビームアシストによる成膜プロセス

鷹野一朗, 中村勲, 沢田芳夫

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キーワード: イオンビーム, イオンビームアシスト, 真空蒸着, 薄膜, 付着力, ミキシング層

ジャーナルフリー

2002 年 71 巻 4 号 p. 214-218

DOI https://doi.org/10.2207/qjjws1943.71.214

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