電荷注入型コンデンサを検出器としたX線線量測定

抄録

電荷注入型コンデンサを検出器としたX線線量計を開発した。このコンデンサは4.5×2.5×1.5mmと非常に小型である。フローティングゲート内の電子の量をX線照射により減少させる。その結果コンデンサの容量が減少するので, 容量計で測定することにより照射線量が読み出せる。直線性は良好であるが, エネルギー特性は低エネルギー側で感度が高くなっている。