腐食検出によるICの劣化(寿命)診断技術の検討

抄録

電子部品の経年劣化上, 入出力特性異常よりも早期に現れる腐食現象を画像で検知し, ICの寿命消費の程度を見積もることを検討した。今回は, その方法を詳述し, あるディジタルICを対象として, 腐食画像による劣化(寿命)診断の可能性を検討した研究事例を報告する。