高信頼性半導体デバイスの寿命分布と故障メカニズム

抄録

信頼性工学の教科書には, 様々な数学的統計モデルとその適用のための数学的手法については詳しい.高信頼性半導体デバイスの信頼性評価, 寿命予測には, データ点が少ないという問題のため, 寿命分布としてどの数学的統計モデルを選択するかの判断が困難であり, 誤った選択は予測結果に大きな誤りをもたらす.できる限り適切な統計モデルを選択するためには, 半導体デバイスの寿命分布の要因を故障物理の観点から理解し, それにできるだけ適合する数学的統計モデルを選択することが大切である.ここでは, 高信頼性電子・光半導体デバイスのサービス寿命期間中および磨耗故障の寿命分布について, 故障メカニズムと関連させて述べる.