3D積層型CMOSイメージセンサ

抄録

近年，CMOSイメージセンサは，スマートフォンをはじめとして，車載，セキュリティ，ファクトリーオートメーションなど幅広い分野で用いられるようになってきている．新しい回路技術やプロセス技術がCMOSイメージセンサの高性能化・高機能化を進展させ，今日では社会の中で不可欠なデバイスとなっている．本稿では，2000年代から始まるCMOSイメージセンサの進化と応用について解説する．