日本酸素（株）電子機材事業本部
1994 年 33 巻 6 号 p. 361-368
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先端産業の中で，ガスの使用量および種類の多い半導体産業における保安設備を設計するための指針と留意点をまとめることは，現場における保安管理を容易にそして確実に行うために重要である．また，従来の主流であったガス警報監視装置から，種々のリスクを回避するためのシステムとしての考え方に変えていくことによって，大規模化，複雑化することによるコストアップを押さえ，保安上の精度を向上させることができる．
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