化学工学会　研究発表講演要旨集
化学工学会第36回秋季大会
セッションID: I3P08
会議情報

主催: 社団法人 化学工学会

亜臨界・超臨界流体を用いた応用技術
超臨界CO2流体中での超微細集積回路用薄膜堆積
*近藤 英一, 志鎌 耕一郎
著者情報
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (173K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2003 社団法人　化学工学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top